中瑞祥解析勻膠機(jī)選購(gòu)巧 勻膠機(jī)有很多種稱(chēng)謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱(chēng)甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际菢拥模丛谒傩D(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 選購(gòu)巧 針對(duì)目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品眾多，良莠不齊現(xiàn)象，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶(hù)提辨別能力，為用戶(hù)提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。 從其原理來(lái)說(shuō)，我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié) 1、 旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速?？诘膭蚰z機(jī)雖然大分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大分轉(zhuǎn)速度沒(méi)有際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購(gòu)買(mǎi)轉(zhuǎn)速控制方面有際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如:美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。 2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu) 真空泵定要無(wú)油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)楹蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。 3、 材質(zhì)的選擇 對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類(lèi)化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對(duì)于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。 KW型勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體藝，制版及表面涂覆等藝。 勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以保證膠厚度的致性和均勻性，為此，該機(jī)采取了如下措施： () 定子和轉(zhuǎn)子分開(kāi)供電。定子用穩(wěn)壓電源供勵(lì)磁電流，轉(zhuǎn)子用開(kāi)關(guān)電源調(diào)速，它比用可控硅調(diào)速*得多，轉(zhuǎn)速在1000-8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。 (二) 勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開(kāi)，然后自動(dòng)變到速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)。 (三) 本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的方法，在光電測(cè)速盤(pán)的邊上有三個(gè)缺口，光電盤(pán)下面裝有光電開(kāi)關(guān)。當(dāng)光電盤(pán)缺口轉(zhuǎn)到光電開(kāi)關(guān)上方時(shí)，光電開(kāi)關(guān)的接收器沒(méi)有信號(hào)，當(dāng)光電盤(pán)的反射板(缺口以外的其余分)轉(zhuǎn)到光電開(kāi)關(guān)上面時(shí)，光電接收器便接收到信號(hào)產(chǎn)生個(gè)脈沖，光電盤(pán)旋轉(zhuǎn)周，光電接受器便接收到三次信號(hào)，因而產(chǎn)生三個(gè)脈沖。閘門(mén)由秒脈沖電路產(chǎn)生，周期為2秒。當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí)，如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)得的數(shù)是n，則每秒鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2×3)=n/6轉(zhuǎn)，每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)×60=10n轉(zhuǎn)。故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速，只不過(guò)差個(gè)數(shù)量。 勻膠機(jī)的定時(shí)能由時(shí)基電路556來(lái)成，把556按單穩(wěn)形式連接，改變RC常數(shù)，就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間。在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低。
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