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中瑞祥解析勻膠機選購巧
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中瑞祥解析勻膠機選購巧

 

 

勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是樣的,即在速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

 

  選購巧

 

  針對目前勻膠機市場品眾多,良莠不齊現象,筆者結合自己多年從事勻膠機術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標準。

 

  從其原理來說,我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)

 

  1、 旋轉速度:轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。產的某些勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。口的勻膠機雖然大分能標定轉速,但是大分轉速度沒有際標準認定。建議購買轉速控制方面有際認定標準的,比如:NIST標準等。

 

  2、 真空吸附系統(tǒng)的構

 

  真空泵定要無油的,壓力標定準確,內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況,,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。

 

  3、 材質的選擇

 

  對于半導體化行業(yè)的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。

 

  KW型勻膠機適用于半導體藝,制版及表面涂覆等藝。 勻膠機穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證膠厚度的致性和均勻性,為此,該機采取了如下措施: () 定子和轉子分開供電。定子用穩(wěn)壓電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比用可控硅調速*得多,轉速在1000-8000/分范圍內非常穩(wěn)定。 () 勻膠機有兩個轉速。在啟動之后,以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到速運轉。兩轉速及相應的時間分別可調。 () 本勻膠機測速采用光電的方法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,光電盤下面裝有光電開關。當光電盤缺口轉到光電開關上方時,光電開關的接收器沒有信號,當光電盤的反射板(缺口以外的其余分)轉到光電開關上面時,光電接收器便接收到信號產生個脈沖,光電盤旋轉周,光電接受器便接收到三次信號,因而產生三個脈沖。閘門由秒脈沖電路產生,周期為2秒。當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計得的數是n,則每秒鐘應該轉了n/(2×3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)×60=10n轉。故計數器就是每分鐘轉速,只不過差個數量。 勻膠機的定時能由時基電路556來成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數,就可以改變兩個勻膠時間。在安裝結構上,采取了減震措施,在運轉時噪音很低。


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